Forschungsaktivitäten

Modellierung und Simulation technischer Plasmen

Schema eines Plasma-Reaktors Ohne Plasmen gäbe es keine Pentium-Prozessoren – und auch keine Playstation. Die Plasmatechnik befasst sich mit der Erforschung und technischen Anwendung des Plasmas, des aktivsten und energiereichsten Zustands der Materie. Der „vierte Zustand“ bildet die Grundlage einer Vielzahl rasant wachsender High-Tech-Gebiete, von der Oberflächentechnik und optischen Technologien bis hin zur Leuchtmittelindustrie und zur Biomedizintechnik.

Simulation der Multipol-Resonanz-Sonde Der Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik forscht auf diesem faszinierenden Gebiet mit den Mitteln der Modellierung und Simulation. Unsere Schwerpunkte sind Grundlagen aufzuklären und neue Anwendungen auf den Weg zu bringen. So wurden unter anderem ein neuartiges Verfahren zur Bestimmung der Elektronendichte in technischen Plasmen entwickelt, sowie das „Geheimnis der Elektronenheizung“ in Niederdruckplasmen gelüftet.

Förderung und Koordination

Die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG), das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) sowie die Ruhr-Universität Bochum fördern Forschung und Entwicklung unter anderem in den Bereichen:

  • Entwicklung einer Industrie-kompatiblen Plasmadiagnostik – Die Multipol-Resonanz-Sonde

  • Modellierung plasmagestützter Abscheideprozesse

  • Elektronenresonanzheizung in kapazitiv gekoppelten Zweifrequenzentladungen

  • Modellierung und Simulation von Hochfrequenzplasmen bei mittleren und hohen Drücken